國產SuperViewW1白光干涉儀設備能以非接觸的方式，無損檢測精密機械加工表面；檢測結果以3D數據地圖的方式顯示，直觀地展示了表面紋理特征。在數秒內，就可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。

產品參數

產品型號：SuperView W1系列

產品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024

光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可測樣品反射率：0.05%-100

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

SuperViewW1白光干涉儀基于無限遠顯微鏡系統，通過干涉物鏡產生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統變為光學3D表面輪廓儀。除了負責產生干涉條紋，各類干涉物鏡還決定了系統許多關鍵性能，比如光學分辨率、工作距離、齊焦距離、坡度能力、視場范圍等等。

產品組成

SuperViewW1白光干涉儀設備特征

1.業界*高的垂直分辨率，強大的測量性能；2.0.5~200倍的放大倍率；

3.任何倍率下亞埃級至毫米級垂直測量量程；

4.三維光學輪廓儀測量硬件的獨特設計，增強生產環境中的可靠性和重復性；較高的震動

的容忍度和GR&R測量的能力專利的自動校準能力；

5.多核處理器下運行的Vision64軟件，大大提高三維表面測量和分析速度數據處理速度

提高幾十倍；分析速度提高十倍；

6.無以倫比的大量數據無縫拼接能力；

7.三維光學輪廓儀高度直觀的用戶界面，實用性強，操作簡便和分析功能強

大優化的用戶界面大大簡化測量和數據分析過程；獨特的可視化操作工具；可自行設置數據輸出的界面；

基于白光干涉原理，SuperViewW1白光干涉儀設備以3D非接觸方式測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸，典型結果包括：

1、表面形貌（粗糙度、平面度、平行度、臺階高度、錐角等等）

2、幾何特征（關鍵孔徑尺寸、曲率半徑、特征區域的面積和體積，特征圖形的位置和數量等等）

3D形貌地圖配合色譜圖，非常直觀；但橫向測試范圍，縱向高度尺度也很關鍵。在超精密加工中，3D AOI（自動光學檢測）是對傳統精密加工上的升級，彌補了傳統 AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷，改進設備性能以滿足各大電子廠對質量和產品能得雙重要求。SuperViewW1白光干涉儀通過對三維形貌的測量，能較為全面地評定表面質量的優劣，因為微觀表面形貌直接影響著零件的技術性能評價，所以表面三維評定參數能全面衡量零件表面質量，因此表面三維微觀形貌的測量就越來越重要。而在三維微觀測量領域中，特別是在如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質量高要求的領域中，光學三維表面形貌儀的測量精度高。