本閥門類產品：EH500 閥門 EdWARDS羅茨泵，由上海上海市供應商上海萬庫真空設備有限公司供應，詳細信息如下：
應用
??半導體制程
??真空蒸餾
??真空包裝
??鋼脫氣
??薄膜覆層
??真空冶金
??低密度風洞
??空間模擬
??真空浸漬
??油干燥和脫氣
??制藥冷凍干燥
?&nbspCO2 激光
功能和優勢
??適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3Min-1 的高抽速的應用場合。
??它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。
?&nbspEH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：
o?安靜的無振動運行。
o?牢靠且防腐蝕。
o?先進的軸封技術，處理艙中不會出現油污染
??防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
??經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到*低。
??軸封的設計經過優化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要*高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。
??動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小，而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。
技術數據
　型號&nbspEH250&nbspEH500&nbspEH1200&nbspEH2600&nbspEH4200
排量（工作容積）&nbsp310 m3h-1 / 185 ft3Min-1&nbsp505 m3h-1 / 300 ft3Min-1&nbsp1195 m3h-1 / 715 ft3Min-1&nbsp2590 m3h-1 / 1525 ft3Min-1&nbsp4140 m3h-1 / 2440 ft3Min-1
使用前級泵時的有效抽速&nbsp240 m3h-1 / 141 ft3Min-1&nbsp350 m3h-1 / 206 ft3Min-1&nbsp840 m3h-1 / 495 ft3Min-1&nbsp1750 m3h-1 / 1031 ft3Min-1&nbsp3100 m3h-1 / 1825 ft3Min-1
泵的壓力差&nbsp0-180 mbar/0-140 Torr&nbsp0-110 mbar/0-83 Torr&nbsp0-90 mbar/0-68 Torr&nbsp0-80 mbar/0-60 Torr&nbsp0-60 mbar / 0-45 Torr
進氣口連接&nbspISO63&nbspISO100&nbspISO160&nbspISO160&nbspISO250
出口連接&nbspISO40&nbspISO63&nbspISO100&nbspISO100&nbspISO100
轉速&nbsp0-2900 rpm&nbsp0-2900 rpm&nbsp0-2900 rpm&nbsp0-2900 rpm&nbsp0-2900 rpm
連續進氣口工作壓力&nbsp0-1000 mbar/0-760 Torr&nbsp0-1000 mbar/0-760 Torr&nbsp0-1000 mbar/0-760 Torr&nbsp0-1000 mbar/0-760 Torr&nbsp0-1000 mbar/0-760 Torr
*大出口壓力&nbsp1000 mbar/760 Torr&nbsp1000 mbar/760 Torr&nbsp1000 mbar/760 Torr&nbsp1000 mbar/760 Torr&nbsp1000 mbar/760 Torr
*的前級泵&nbspGV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80&nbspGV80，E2M80&nbspGV160、GV250、
E2M80、E2M175&nbspGV250、GV400、
E2M175、E2M275&nbspGV400、E2M275
電機功率?　?　?　?　?　
碳氫化合物&nbsp2.2 kW / 3 hp&nbsp2.2 kW/3 hp&nbsp3 kW/4 hp&nbsp11 kW/15 hp&nbsp11 kW/15 hp
PFPE&nbsp1.5 kW / 2 hp&nbsp1.5 kW/2 hp&nbsp3 kW/4 hp&nbsp7.5 kW/10 hp&nbsp11 kW/15 hp
ATEX&nbsp2.2 kW&nbsp2.2 kW&nbsp3 kW&nbsp11 kW&nbsp11 kW
防爆&nbsp3 hp&nbsp3 hp&nbsp4 hp&nbsp15 hp&nbsp15 hp
環境溫度范圍?　?　?　?　?　
工作&nbsp5 至 40°C/40 至 104°F&nbsp5 至 40°C/40 至 104°F&nbsp5 至 40°C/40 至 104°F&nbsp5 至 40°C/40 至 104°F&nbsp5 至 40°C/40 至 104°F
存儲&nbsp-10 至 80°C/14 至 176°F&nbsp-10 至 80°C/14 至 1
關鍵詞：閥門 EH500 閥門 EdWARDS羅茨泵 上海萬庫真空設備有限公司