本特種建材類產品：SHCV大功率半自動探針臺 特種建材，由廣東深圳市供應商深圳市森美協爾科技有限公司供應，詳細信息如下：
大功率半自動探針臺　
型號　SHCV-6-Auto　SHCV-8-Auto　SHCV-12-Auto　
外形　860mm*850mm*700mm　880mm*860mm*750mm　 1300mm*920mm*920mm　
重量　180KG　250KG　380KG　
電力需求　AC220V,50~60HZ　
Chuck　尺寸　6inch　8inch　12inch　
X-Y軸行程　6*6inch　8*8inch　12*12inch　
X-Y軸移動解析度　0.04um/0.1um　
X-Y軸重復定位精度　±1um　
移動速度　≥ 50 mm/sec　
Z軸行程　10mm　
Z軸移動解析度　0.1um　
Z軸重復定位精度　±1um　
Theta角度行程　±15°　
Theta角度解析度　0.0003°　
光柵尺　帶光柵尺　
樣品固定方式　多孔真空吸附，獨立分區控制　
切換樣品功能　樣品臺快速拉出　
結構　同軸高壓設計，鍍金，電學獨立懸空，可作為背電極使用　
針座平臺　規格　O型平臺，*多可放置8個針座　O型平臺，*多可放置10個針座　O型平臺，*多可放置12個針座　
行程&調節方式　平臺可以快速升降，行程 6mm并帶自動鎖定功能;可以上下微調，行程25mm，升降精度1um　
控制方式　手動控制盒（可選擇帶操縱桿）　
軟件控制　
軟件功能　wafer map的編輯　
儀器的接入　
數據的采集和圖像化顯示　
數據的分析　
差異數據的標定Ink mark　
自定義Bin分　
自動測試　　
通訊接口：RS232/EtherCAT/GPIB等　　
大功率規格　配置　大功率kelvin樣品臺　
大功率夾具線纜　
mult-pin 分流探針　
大功率保護模塊（針座用）　
保護紅外光幕，防止人員誤進入工作區，觸發時interlock互鎖　
大功率儀器連接模塊　
*大測試電壓　10KV　
*大測試電流　500A（脈沖）　
光學特性　顯微鏡行程　2*2inch　
顯微鏡行程　1um　
放大倍數　20-4000X　
CCD像素　50W（模擬）/200W（數字）/500W（數字）　
點針規格　點針精度　10微米/2微米/0.7微米　
X-Y-Z行程　12mm-12mm-12mm　
漏電精度　　10pA/100fA　
接口形式　香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA，SHV接口　
溫控特性　溫度范圍　100~200℃　80~200℃　60~200℃　
溫控精度　溫度分辨率 ： 0.01°C　
加熱電源　 LVDC 低壓直流　
*低控溫速率　　　±0.1°C　/小時　　
傳感器　 Pt100　
制冷方式　液氮制冷　
減震　主動式減震系統，能夠實現50X 物鏡下畫面不抖動　
可選附件　chuck快速拉出裝置　
顯微鏡傾仰裝置　
激光修復　
探針卡夾具　
光強/波長測試接口部件　
加熱臺　
高低溫樣品臺（-80~200℃）　
防震桌　
射頻測試　
PCB板夾具　
液晶熱點偵測套裝　
屏蔽箱　
卡盤鍍金　
運用方向　晶圓測試，功率器件測試　


特點：　
SiC/GaN晶圓測試　超高的測試精度　
大功率晶圓測試　便捷的儀器接入　
（-60~200℃）高低溫Chuck　半自動測試　
20~4000X光學顯微放大　可升級全自動測試　
功能豐富的測試軟件　可升級射頻測試　

關鍵詞：特種建材 SHCV大功率半自動探針臺 特種建材 深圳市森美協爾科技有限公司