光催化法是近些年被開發出來的一種新型的廢氣處理技術,其原理是在催收設備內,高能紫外線光束與空氣、TiO2反應產生的臭氧、·OH(羥基自由基)對惡臭有機氣體進行協同分解氧化反應,同時大分子有機氣體在紫外線作用下使其鏈結構斷裂,使惡臭有機氣體物質轉化為無臭味的低分子化合物或者完全氧化,生成水和CO2,整個分解氧化過程在1秒內完成
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